中文别名： 六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
英文名称： 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS号： 999-97-3
EINECS号： 213-668-5
分子式： C6H19NSi2
分子量： 161.39
密度： 0.765
熔点： -78℃
沸点： 125℃
闪点： 20℃
物化性质：
性 状 无色透明液体、无毒、略带胺味
产品用途：
是羟基及氨基保护剂；特种有机合成。盘尼西林、头孢霉素、等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
